По принципу действия все вакуум-насосы можно разделить на следующие основные типы:
1. Объемные насосы, действие которых основано на увеличении объема.
2. Молекулярные насосы, принцип действия которых основан на захватывании молекул газа движущейся поверхностью.
3. Эжекторные и диффузионные насосы. Действие их основано на захвате частиц газа струей пара.
4. Водоструйные насосы, действие которых основано на захватывании молекул газа струей воды.
5. Ионные насосы, принцип действия которых основан на увеличении заряженных частиц газа силами электрического поля.

Подробно на http://vacuumpro.ru/vakuumnyj-nasos/plastinchato-r

В нижеприведенной таблице приведены основные параметры вакуум-насосов, выпускаемых промышленностью.

Поршневые вакуум-насосы находят широкое применение в химической промышленности в тех процессах, где требуется давление порядка 5 - 100 мм.рт.ст. Эти насосы надежны в работе и просты в обслуживании и могут откачивать газы, содержащие капельную жидкость.

Вращательные масляные насосы также довольно широко распространены в химической промышленности. Они применяются в тех случаях, когда необходимо создать давление порядка 0,5 - 0,001 мм.рт.ст. Эти насосы могут использоваться и в качестве форвакуумных и для откачки больших объемов воздуха от атмосферного давления. Эти насосы могут применяться и в таких химических процессах, как сушка, дистилляция и другие. В этом случае насос имеет специальное газобалластное устройство. Вращательные масляные насосы требуют более тщательного ухода и не допускают попадания воды, водорастворимых кислот и щелочей в рабочую камеру насоса.

Вращательные вакуум-насосы со скользящими пластинами применяются в основном для удаления основной массы воздуха или газа из производственных емкостей больших объемов, а также для создания централизованных систем предварительного разрежения на предприятиях химической промышленности. Вращательные вакуум-насосы с жидкостным поршнем широко распространены в химической промышленности. Эти насосы отличаются простотой устройства и обслуживания, долговечностью, могут применяться во всех процессах химической технологии, где требуется давление порядка 25-600 мм.рт.ст. Они незаменимы в случае сжатия газов, не допускающих соприкосновения со смазкой, воспламеняющихся при низкой температуре или легком искрообразовании и для других специальных условий.

Пароэжекторные вакуум-насосы в основном используются в тех химических производствах, где необходимо давление порядка 1-100 мм.рт.ст. Насосы этого типа находят все большее применение в химической промышленности. Отличительной особенностью этих насосов является то, что в них нет движущихся частей и основным рабочим механизмом является струя пара.

Диффузионные вакуум-насосы, в которых рабочим механизмом является струя паров ртути или масла, применяются в основном в лабораторной практике. Эти насосы могут работать при давлении предварительного вакуума порядка 1 мм.рт.ст.